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晶圓目視檢測(cè)用大平臺(tái)金相顯微鏡-上海光學(xué)儀器廠
晶圓定位及瑕疵檢測(cè)系統(tǒng)專(zhuān)為晶圓目視檢測(cè)而設(shè)計(jì)，定位軟體、
顯微鏡、自動(dòng)載物臺(tái)，適用于4/6/8吋晶圓即時(shí)瑕疵檢測(cè)。
提供預(yù)覽影像，操作者可在螢?zāi)簧霞磿r(shí)檢測(cè)Wafer上的每一個(gè)Die，
并可針對(duì)Die的每種狀況進(jìn)行定義，于Wafer Map上以顏色呈現(xiàn)。
即時(shí)觀測(cè)影像可拍照存檔，存檔名稱(chēng)可自行定義，如Die的位置與瑕疵定義等。
功能特點(diǎn)
?讀取Wafer Map文字檔相關(guān)資訊，即時(shí)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)Wafer Map。
?手動(dòng)三點(diǎn)定位，定位簡(jiǎn)易快速，誤差小，可修正Wafer實(shí)際角度與位置偏差。
?可自定義多點(diǎn)檢測(cè)位置，如已公式計(jì)算多點(diǎn)檢測(cè)位置，或自行設(shè)定固定檢測(cè)位置。
?可自行定義Defect類(lèi)別，Defect分類(lèi)可以顏色呈現(xiàn)。
?可依每個(gè)Die的檢測(cè)狀況，選擇Defect進(jìn)行標(biāo)記，并以顏色于Wafer Map呈現(xiàn)，方便檢視與分辨，檢測(cè)結(jié)果可記錄于資料庫(kù)或Wafer Map。
?可將瑕疵狀況進(jìn)行拍照存檔，存檔名稱(chēng)可自行定義，如Die的位置加上瑕疵定義。
?可根據(jù)客戶需求，整合客戶端資料庫(kù)，將分析與檢測(cè)結(jié)果存入資料庫(kù)。
?提供多組比例尺建立，使用者可根據(jù)顯微鏡物鏡建立對(duì)應(yīng)比例尺，并可于影像上標(biāo)注比例尺。
?提供量測(cè)直線、角度、面積等多種量測(cè)工具。
?提供進(jìn)階量測(cè)功能，如點(diǎn)到線距離、點(diǎn)到圓距離、線到圓距離等。
?提供影像縮放功能、方便觀察檢測(cè)。
?即時(shí)觀測(cè)影像畫(huà)面，減少檢測(cè)者于顯微鏡上觀測(cè)的疲勞度，并可顯示十字線，方便檢測(cè)與對(duì)位。
?影像拍照存檔成多種格式，如Tiff、JPEG等。
?量測(cè)結(jié)果可匯出至文字檔或Excel報(bào)表。
?提供Time Lapse影像拍照功能，可設(shè)定拍照建隔時(shí)間與張數(shù)。
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