東城工件輪廓測(cè)量?jī)x器-全自動(dòng)測(cè)量投影儀器

作者：發(fā)布時(shí)間：2022-07-02 20:52:38點(diǎn)擊：1677

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工件輪廓測(cè)量?jī)x器-全自動(dòng)測(cè)量投影儀器

納米繞射及散射線寬量測(cè)技術(shù)

以 AFM 量測(cè) 50 nm 線寬線距技術(shù)，須配合使用超細(xì)微探針，探針尺寸可降低

到 2~10 nm 等級(jí)，減少對(duì)量測(cè)待測(cè)件表面尺寸的影響。

因探針尺寸還是與待測(cè)件尺寸相近，以傳統(tǒng)掃描方式，會(huì)受限于探針給幾何表面形狀，會(huì)有死角而無法量測(cè)問題，

當(dāng) AFM 探針由左往右掃描時(shí)，工件右側(cè)輪廓侷限于探針幾何形狀問題，無法

量測(cè)到。NIST[1-5]作法是使用傾斜式單向掃描，由作次左往右掃描后，

將工件旋轉(zhuǎn) 180 度，同樣再掃描一次后，以縫補(bǔ)技術(shù)讓二次掃描結(jié)果組合，以得到待測(cè)

件真實(shí)輪廓。此方法會(huì)碰到問題為納米工件非常細(xì)微，經(jīng)旋轉(zhuǎn) 180 度后，很難再找到同

樣位置進(jìn)行量測(cè)，會(huì)造成縫補(bǔ)技術(shù)組合誤差。

另一量測(cè)程序，將探針與待測(cè)面傾斜，先將探針左傾斜時(shí)，由左往右掃描時(shí)，工件左側(cè)輪廓不會(huì)侷限于探針幾合形

狀問題，直接在再傾斜探針為右傾斜后，并進(jìn)行掃描，同樣再以縫補(bǔ)技術(shù)組合，

因傾斜調(diào)整座在傾斜轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，工件仍會(huì)有空間位移問題，由調(diào)整座幾何形狀關(guān)系與傾斜角度，

可推算出偏移量，再由水平移動(dòng)平臺(tái)補(bǔ)償偏移后，仍可找到待測(cè)件，所以二次量測(cè)都能

在同一位置附近，才能以縫補(bǔ)技術(shù)補(bǔ)償誤差

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