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一般掃描式電子顯微鏡多以二次電子影像來觀察樣品。
至于影像的放大倍率乃決定于電子束在標(biāo)本上掃描的范圍與螢光幕的比值，
掃描范圍愈小，所觀察到的影像放大倍率越大，
而解像力則視所聚成的電子束直徑大小而定，電子束直徑愈小，解像力愈高
成像系統(tǒng)（Image system）：即放大系統(tǒng)。由一系列電磁透鏡組成，分別為物鏡、中間鏡與投射鏡。
物鏡是將物體作次放大，而投射鏡則是將次放大的像再放大終至投射到螢光板或照相底片上。
置入樣品的方式為側(cè)進(jìn)式（Side-entry），為防污染須灌入液態(tài)氮，
用以冷卻標(biāo)本因電子束照射產(chǎn)生高溫所導(dǎo)致的污染
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