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測(cè)量玻璃平整度與缺陷的光學(xué)儀器簡介
平均高度差了42 倍之多，可見掃描行程越長，其測(cè)量精度越
高。
結(jié)合表面電漿共振及外光程外差干涉術(shù)，來測(cè)量玻璃平整度與缺陷，具有架構(gòu)簡單、準(zhǔn)確性高的優(yōu)點(diǎn)，
而且為非接觸式量測(cè)，使得待測(cè)物不受任何限制，證明本實(shí)驗(yàn)
的量測(cè)方法，具有很好的學(xué)術(shù)研究價(jià)值，可一直深入研究，并
且具有很大的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用潛力及開發(fā)價(jià)值，相信不久將來，此方
法將可在光學(xué)量測(cè)技術(shù)占有一席之地
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