豐臺顯微鏡維修基于PIC16C65單片機的掃描隧道顯微鏡電
作者: 發布時間:2022-07-02 17:36:10點擊:1503
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掃描探針顯微鏡(STM)是納米技術發展的重要工具,它以量子力學的隧穿理論為基礎。該理論的核心是,其直徑為原子尺度,可以掃描金屬樣品的表面,并且與樣品具有一定偏置電壓,當樣品與之間的距離非常接近時,電子可以從傳輸到樣品或樣品。通過隧道效應到達,從而形成隧道電流。隧道電流的大小與其間距{1}:
其中:I是樣品與之間的隧道電流;B是與樣品與之間的偏置有關的系數;K是與自由電子的質量和有效平均勢壘高度有關的系數;S是樣品與之間的隧道電流。
基本組成部分可分為三個部分:頭部系統、計算機系統。掃描器的質量決定了的控制精度和樣品間距,從而決定了STM圖像的質量。目前,管狀PZT壓電陶瓷被廣泛使用。掃描器可以在X、y、Z三個方向上進行納米精度的運動。ep電壓發生器產生三角波等掃描波形,控制掃描儀逐行掃描樣品。針固定在掃描儀上并隨掃描儀移動。在針尖和樣品之間的偏置電壓下,當針尖和樣品足夠接近時,調諧。產生隧道電流。靈敏電流放大器檢測隧道電流,將其轉換為電壓,然后與電流設定點進行比較。在STM電子系統中,通常采用PI控制器作為反饋電路來調節掃描器的z向運動,以保持隧道電流的恒定。與樣品在z軸方向上的距離反映了樣品表面高度的波動,這就是STM{2}的恒流模式。
目前,中國有很多的掃描隧道顯微鏡制造商。內部電子部分基本上由DSP芯片為核心、外部高精度A/D或D/A等外圍器件組成,由于DSP芯片結構和功能的復雜性,使用和學習不方便。介紹了一種以單片機中檔為核心,采用16位AD轉換器MAX195和DA轉換器AD1866構成的掃描隧道顯微鏡(STM)電子系統。
由Microchip公司生產的PIC系列微控制器具有哈佛雙總線結構。它們采用簡化指令集和指令流水線的結構。MX195是Maxm公司生產的16位串行輸出A/D轉換器。它具有高速、低功耗和自校準能力。Max 195主要用于隧道電流的采集,Max 195和PIC16C65之間的連接以及Max 195的外圍連接如圖1所示。
在圖1中,PIC16C65單片機通過通用IO端口D端口的7個引腳與MAX195和MC114555連接,AD轉換過程由PIC16C65的程序控制。重新讀取數據。在轉換開始時,設置低級別/CONV以啟動轉換。轉換后,SCM不斷檢查E/EO C引腳的電平是否變低。如果轉換較低,SCM通過RD5端口構造16個串行輸出脈沖以發送到Max 195。轉換后,16位數據通過RD4端口逐位發送到PIC單片機,內部讀取和處理。
AD1866是AD公司生產的雙通道16位D/A轉換器。每個通道由一個參考電壓、一個16位輸入寄存器、一個16位輸入鎖存器、一個16位DAC和一個輸出放大器組成,AD1866的工作過程也由PIC單片機的程序控制。D/A轉換所需的16位數據從高比特發送到低比特率的AD186 6數據寄存器。然后,LL和LR引腳構造下降沿脈沖。數據寄存器中的16位數據被發送到DAC進行D/A轉換,DAC的輸出被相應地更新,其接口電路如圖2所示。
工作過程如下:首先,步進電機通電,使電機連續運轉,并逐漸向下接近樣品。小直徑探頭安裝在步進電機的前面,隨電機一起運動,當探頭接近樣品時,步進電機的工作模式由連續工作模式變為點工作模式,同時,探頭被偏置直到預設的隧道電流。通過檢測壓電陶瓷在z軸方向上的距離,與預設值進行比較,得到點的表面高度,利用該方法,可以掃描出樣品的所有表面形狀,然后將數據發送給計算機。通過一定的圖像處理可以獲得樣品的表面圖案。
以PIC16C65為核心的掃描隧道顯微鏡電子系統,通過與PC機的接口以及顯示和圖像處理程序,可以清晰地顯示金屬樣品的表面,具有成本低廉、成本低廉等特點。清晰的圖像顯示。它在精密測量、微驅動、材料研究等領域有廣闊的應用前景。
{ 2 } Acthon P D.納米精密機構{J}Me測量控制. 1998年,31(3)
北航大學教授從事單片機和嵌入式系統的推廣工作已有20多年。
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