豐臺(tái)顯微鏡下的世界紅外物理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在檢測(cè)
作者: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-02 17:37:12點(diǎn)擊:1481
信息摘要:
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自從發(fā)現(xiàn)電子學(xué)一個(gè)多世紀(jì)以來,人類社會(huì)對(duì)它的依賴程度越來越高。今天,它已成為微電子和光電子技術(shù)的物理基石,隨著微電子器件尺度上的質(zhì)量定律減小到納米尺度,對(duì)電子運(yùn)動(dòng)定律的理解將面臨從平衡理論的發(fā)展。正如在基礎(chǔ)能源科學(xué)咨詢委員會(huì)的報(bào)告中指出的,當(dāng)今科學(xué)面臨的五大挑戰(zhàn)之一是非平衡態(tài)的特征化和操縱,尤其是那些遠(yuǎn)離平衡的狀態(tài)。根據(jù)理論預(yù)測(cè),微電子器件中電流更大的位置將是電子溫度更高的地方。中國科學(xué)院上海理工大學(xué)紅外物理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研究員陸偉復(fù)旦大學(xué)研究員安正華利用熱電子非平衡輸運(yùn)的實(shí)驗(yàn)探測(cè)技術(shù),共同研究非局域熱電子能量耗散的空間成像。電子并非局限于電流的更大位置,而是明顯偏離電流方向,電子的溫度比晶格溫度高出許多倍。本文研究的更大挑戰(zhàn)來自于熱電子的非平衡輸運(yùn)實(shí)驗(yàn)技術(shù)。其基本原理是,由非平衡電子的強(qiáng)烈電流波動(dòng)引起的散粒噪聲將直接導(dǎo)致近場(chǎng)甚長波紅外輻射。高靈敏的近場(chǎng)紅外探測(cè)只能測(cè)量非平衡電子性質(zhì),從而可以直接觀測(cè)到納米結(jié)構(gòu)中電子的非平衡甚至遠(yuǎn)非平衡性質(zhì),為納米結(jié)構(gòu)的研究提供了獨(dú)特的途徑。2008年3月29日,《科學(xué)》雜志在線發(fā)表了散粒噪聲引起的局部熱電子能量耗散(DOI:10.1126..aam9991)。它將在理解和處理非平衡熱電子,從而增強(qiáng)裝置功能方面發(fā)揮重要作用。中國,上海科學(xué)技術(shù)委員會(huì)的重大項(xiàng)目,中國科學(xué)院海外科學(xué)家項(xiàng)目。
描述了利用掃描噪聲顯微鏡(SNOIM)對(duì)超高頻(~(21.3)THz)噪聲的納米級(jí)成像。給出了掃描噪聲顯微鏡(A)的實(shí)驗(yàn)裝置。(B)GaAs/AlGaAs量子阱納米器件的電子限制區(qū)的SEM圖。通過高度調(diào)制模式獲得近場(chǎng)信號(hào),其中顏色代表電子的等效溫度。(E)近場(chǎng)信號(hào)與高度相關(guān),而近場(chǎng)信號(hào)通過電壓調(diào)制模式獲得。
噪聲強(qiáng)度隨偏置電壓的增加而變化。(A-F)針尖高度調(diào)制方式得到的二維成像圖。(G)y方向(平行于{100}),一維近場(chǎng)信號(hào)隨位置變化而變化。(H)噪聲強(qiáng)度隨偏置電壓的變化。IELD(圓和三角點(diǎn)表達(dá)式)和遠(yuǎn)場(chǎng)(平方點(diǎn)表達(dá)式)。
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