海淀掃描電子顯微鏡得材料表面形貌與其對(duì)應(yīng)的電流影像

作者：發(fā)布時(shí)間：2022-07-02 20:54:34點(diǎn)擊：1761

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掃描電子顯微鏡得材料表面形貌與其對(duì)應(yīng)的電流影像

　　半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展日進(jìn)千里，尤以元件尺寸的微縮速率更超出原本預(yù)期提早達(dá)到物理的極限，

且同時(shí)也產(chǎn)生像短通道效應(yīng)等的不理想現(xiàn)象，因應(yīng)的解決方法除了制作超淺接面之外，近來(lái)備受注目的就是閘極氧化層的薄化。

然則在傳統(tǒng)電性分析方面卻越來(lái)越無(wú)法滿足納米等級(jí)的檢測(cè)要求，如分析氧化層上易于產(chǎn)生電性崩潰的區(qū)域，

因此應(yīng)用于電性分析的掃描探針顯微鏡(scanning probe microscopy)便逐漸受到產(chǎn)學(xué)界的重視，

而其中的掃描電流顯微鏡(conductive atomic force microscopy)

不僅擁有高訊號(hào)靈敏度與高空間解析度等優(yōu)點(diǎn)，也能同時(shí)取得材料表面形貌與其對(duì)應(yīng)的二維電流影像資訊，

并可針對(duì)特定區(qū)域進(jìn)行電流-電壓曲線分析，

在高品質(zhì)超薄閘極氧化層的鑑定上更可提供有效的幫助。近十馀年來(lái)，掃描電流顯微鏡的發(fā)展快速，

1998年由A. Olbrich等研究人員將掃描探針顯微鏡搭配上導(dǎo)電探針利用Fowler–Nordheim(F-N)

穿隧電流機(jī)制檢測(cè)試片電流特性之后，掃描電流顯微鏡也發(fā)展出越來(lái)越多的應(yīng)用，

例如分析量子點(diǎn)電流路徑、特定小區(qū)域的崩潰電壓]以及試片缺陷分布，

最有趣的應(yīng)用之一便是探討試片于不同電壓下其電流分布圖形，藉此有效分析出試片材料本身特性。

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