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矽晶圓試件表面需要使用電子顯微鏡來觀察
滯滑現象的粗糙度機制與實驗
探針在粗糙形貌的表面上移動，實際上驅動探針的速度可能為定值，
然而探針在試樣表面運動的情況卻往往是滯滑行為。儘管這類型的滯滑行為早期即已提出，
然而由于表面缺陷等因素導致實際量測的結果卻往往是雜訊。因此為了觀察粗糙度型的滯滑現象，
實驗的試件表面狀況和正向負載的量都必須小心選擇。
使用圓球型的鉆石探針與具有良好的表面狀況和機械性質的矽晶圓試件來進行實驗
微接觸的統計分析
在探針和試件之間的接觸會造成試件變形，是粗糙度型滯滑現象的一個主要影響因素；
因此正向負載對于滯滑現象的影響不容小覷。而且試件表面的粗糙度為多尺度特性，
而滯滑現象的特征尺度僅為其中的一部份。我們利用一系列不同頻率的馀弦函數累加來表達試件表面，
并將建立于統計計算的微接觸機構用來建立壓痕負載和滯滑現象的關系。
試件表面的特征
首先利用原子力顯微鏡量取矽晶圓試件表面；肉眼看似鏡面的晶圓表面仍然可以
量測到相當等向且均質的粗操形貌。我們將取樣尺度下的表面形貌可當作晶圓整體的代表，
將其拆解為200個馀弦函數；這些函數的高度分佈便可以利用平均值與標準差來描述
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