在線留言
網站地圖 
RSS
您好，歡迎訪問老上光儀器總廠網站！
聯系地址：北京市海淀區上地信息路信息產業三街
聯系電話 
152 0116 0776 / 400-811-7895
礦石內部的晶體結構與微觀結構分析光學顯微鏡
TiO2 鍍膜的晶體結構與微觀組織分析
為不同沉積時間所得 TiO2 鍍膜之 XRD 繞射
圖形及截面形態，由 XRD 繞射圖中可看出當沉積時
間為 15 min 時，由于沉積時間較短、基材溫度較低，
以致所得之晶體結構為金紅石結構。隨著沉積時間的
延長，銳鈦礦相的繞射鋒強度逐漸增加，當沉積時間
達 30 min 時，TiO2 鍍膜開始具有更大的銳鈦礦相(101)
繞射鋒強度，同時銳鈦礦相(004)繞射鋒亦明顯增強。
由此可以看出 TiO2 鍍膜成長機制乃優先成長為金紅
石相，接著成長銳鈦礦相。由 TiO2 鍍膜之截面形態得
知，隨著沉積時間增加，鍍膜厚度逐漸增厚，鍍膜并
且從初期無特定形貌之外觀轉為較細致之柱狀晶，最
終轉變為較粗之柱狀組織。此乃鍍膜成長過程中，受
鈦離子持續轟擊而使堆積原子獲得蠕動排列的機會，
而發展成更完整的晶型。沉積時間 60 min 后所得之
TiO2 鍍膜厚度可達 5 μm，換算其成長速率約為 5
μm/h，明顯高出眾多的 PVD 制程
網站網友點擊量更高的文獻目錄排行榜：
點此鏈接
關注頁面底部公眾號，開通以下權限：
一、獲得問題咨詢權限。
二、獲得工程師維修技術指導。
三、獲得軟件工程師在線指導
toupview,imageview,OLD-SG等軟件技術支持。
四、請使用微信掃描首頁底部官主賬號！ 
客服1