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光波導(dǎo)的制作流程
光波導(dǎo)的制作流程與積體電路的制作流程相似，我們以脊形波導(dǎo)為例，說明如何在玻璃上成長脊形波導(dǎo)。
1.在玻璃表面成長一層氣化矽厚膜(厚度大于1?m)，形成“玻璃／氧化矽”的兩層結(jié)構(gòu)，
2.將“氧化矽／玻璃”放入光阻涂佈機(Spin coater)，在表面涂佈光阻層，形成“光阻／氧化矽／玻璃”的三層結(jié)構(gòu)，
3.將光罩放在“光阻／氧化矽／玻璃”上方進行光罩圖形轉(zhuǎn)移，注意光罩的圖形是要讓紫外光穿過左右兩個區(qū)域。被紫外光照射過的區(qū)域，光阻化學(xué)鍵結(jié)被破壞，使光阻很容易被化學(xué)藥品溶解掉。
4.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入“顯影液”中反應(yīng)，化學(xué)鍵結(jié)被破壞區(qū)域的光阻會被顯影液溶解，
5.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入乾式蝕刻機中反應(yīng)，使用微波產(chǎn)生帶負電的“氟氣體離子”，另外在矽晶圓上外加正電壓，吸引帶負電的氟氣體離子加速射向氧化矽。沒有光阻保護的區(qū)域氟氣體離子會與氧化矽反應(yīng)而使氧化矽去除掉；有光阻保護的區(qū)域氧化矽受到光阻的保護而保留下來。
7.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入“去光阻液”中反應(yīng)，有光阻存在的區(qū)域光阻會被去光阻液溶解
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