微光學元件:角錐狀反射鏡、柱狀鏡、微透鏡

作者：發布時間：2022-07-02 20:57:10點擊：2067

信息摘要：

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各種微光學元件，包括角錐狀反射鏡、柱狀鏡、

微透鏡、以及各種非球面透鏡，都將采用移動工件平臺的拖拉式加

工方法。因此我們試著固定激光劑量與激光重複率，以改變拖拉的

速度（dragging velocity）控制各種元件，如直角錐陣列的深寬比、

圓柱狀鏡以及微透鏡或是各種非球面鏡的曲率，試圖找出制程參數

與曲率或是深寬比的相關函數變化。

電腦設計加工光罩形狀

以電腦程式（Matlab）模擬激光加工后的加工結果，可以得知

預估模擬加工后的加工形狀。

微直角錐陣列

加工過程是激光光透過三角形光罩在移動的工件進行拖拉式加

工，最后得到直線長條形的截面為三角形的直線長條形溝槽。然后

將工件旋轉 90 度，再進行一次拖拉式加工，就可獲得以直角座標格

子點座標排列的微角錐陣列。所以我們就利用電腦設計如同實際加

工的過程，加以模擬設計，首先我們先繪出一直角三角形之溝槽陣

列，再繪出一道與其垂直之直角三角形之溝槽陣列，再將繪一平面，

如此將此平面減上兩道直角三角形之溝槽，就可模擬設計出我們需

要之微直角錐陣列，所示為電腦模擬微直角錐陣列圖，

所示為電腦模擬微角錐陣列的等高線圖。

由模擬設計結果得知，以微直角錐陣列為例，在三角形光罩的頂點位置，也就是

三角形溝槽的凹點處，若是位于兩個相互垂直的三角形溝槽凹點處，

則會形成直角錐狀的更低點。反之，若在位于兩個相互垂直的三角

形溝槽兩側頂點處，則會形成直角錐狀的更高點，故我們由模擬設

計之微直角錐真列可知，我們所需要之立體直角錐，即為我們加工

直角三角形溝槽所交叉拖拉工件的地方，并需旋轉 45 度的角度，

此即為我們的微直角錐陣列。

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