光學顯微鏡原理電子顯微鏡的分辨率創造了一個
作者: 發布時間:2022-07-02 17:39:59點擊:1464
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照片:兩張二硫化鉬(MoS2)的照片,一張旋轉6.8度。每個原子之間的間距從原子鍵的長度到完全重疊不等。來源:康奈爾大學。
7月19日,康奈爾大學應用和工程物理學教授戴維·穆勒、約翰·L·韋瑟里爾和物理學教授索爾·格魯納和維特·埃爾澤在《自然》雜志上發表了一篇題為二維材料電子印刷術到深亞表面分辨率的文章。報道稱,研究人員利用電子顯微鏡(電子顯微鏡)像素陣列探測器(EMPAD)實現了0.39的分辨率,創造了一項新的世界紀錄。
雖然電子顯微鏡可以觀察到一個原子,但即使在這個分辨率下它也看不清楚任何東西。電子顯微鏡透鏡有一個稱為像差的固有缺陷,為此,研制了像差校正器。正如Muller所說,它就像一個顯微鏡眼鏡,為了校正多個像差,需要一個擴展的校準元件收集器,它像在眼鏡上放眼鏡一樣笨拙。Muller和其他工作成功地解決了這個問題。
電子的波長遠小于可見光的波長,但是電子顯微鏡透鏡沒有相應的分辨率。分辨率在很大程度上取決于透鏡的數值孔徑。數值孔徑是F數的倒數:F麻木越小。提高電子顯微鏡分辨率的傳統方法是增加電子束的數值孔徑和能量。過去,分辨率記錄是通過像差校正透鏡和超高束能量-300千電子獲得的。伏特(keV)---以獲得亞AE(,ngstrm)分辨率。原子鍵的長度通常在1-2之間,而AI的分辨率允許人們容易地觀察單個原子。
研究小組使用EMPAD和PT光刻技術來提高電子顯微鏡的分辨率:當電子束掃描樣品時,探測器收集重疊步驟中散射電子的全部位置和動量分布,然后從r重建圖像。最終,獲得了0.39的分辨率。為了保證樣品的結構完整性,他們使用了較低的光束能量(80keV),在這種情況下,僅用像差校正透鏡就可以獲得0.98的分辨率。可以檢測樣品中的硫原子。
因為分辨率小于最小的原子鍵,我們需要為EMPAD方法提供一個新的測試對象,所以他們疊加了兩個MoS2圖片,一個稍微歪斜,使得兩個原子之間的距離從完整的原子鍵的長度到重疊的長度都有所不同。
康奈爾大學的電子顯微鏡已經用EMPAD進行了修改,以記錄各種強度,從單個電子到包含幾百甚至一百萬電子的強光束。
資料來源:http://PHY.org/News /2018-07電子顯微鏡-Debug -Primest.HTML
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