大家好，這里是老上光顯微鏡知識課堂，在這里你可以學到所有關于顯微鏡知識，好的，請看下面文章： 掃描電子顯微鏡（SEM）是介于透射電子顯微鏡（TEM）和光學顯微鏡（OM）之間的一種顯微觀察方法。
    
     (2)具有大景深、大視場和立體圖像，可以直接觀察各種試樣的不均勻表面的精細結構。
    
     入射電子束的光斑直徑是掃描電子顯微鏡的極限，一般情況下，熱陰極電子槍的最小光斑直徑可以減小到6nm，場發射電子槍的最小光斑直徑可以減小到3nm以下。
    
     B.入射電子束在樣品中的傳播效應：擴散程度取決于入射電子束的能量和樣品的原子序數。入射電子束能量越高，樣品的原子序數越小，相互作用體積越大。電子束是，并且產生的信號的區域隨著電子束的擴散而增加，因此降低了分辨率。
    
     C.成像方法和調制信號：當使用二次電子作為調制信號時，由于其能量低(小于50eV)和平均自由程短(約10-100nm)，二次電子只能在50-100nm的深度內從樣品表面逸出。散射時間非常有限，基本上不會橫向擴展，因此兩個電子圖像的分辨率近似等于光斑直徑。
    
     當使用背散射電子作為調制信號時，由于背散射電子的高能量和強的穿透能力，背散射電子可以逃離樣品較深的區域（大約有效深度的30%）。因此，背散射電子圖像的分辨率低于二次電子圖像的分辨率，一般在500-2000nm范圍內。
    
     如果使用吸收電子、X射線、陰極熒光、束感應電導或電位作為調制信號，則掃描圖像的分辨率較低，因為信號來自電子束的整個散射區域，一般從1000nm到10000nm不等。
    
     掃描電子顯微鏡的放大率可以表示為M=Ac/As模式下Ac熒光屏上圖像的邊緣長度以及樣品上As電子束的掃描幅度。nas as。
    
     目前，大多數商品的掃描電子顯微鏡（SEM）的放大倍數為光學顯微鏡和透射電子顯微鏡（TEM）的20-20000倍。也就是說，掃描電子顯微鏡（SEM）彌補了光學顯微鏡的放大倍數與透射電子顯微鏡（TEM）的差距。
    
     景深是指在焦點之前和之后的距離范圍，其中所有目標點都可以根據分辨率要求形成清晰的圖像，也就是說，景深是可以清楚地看到的距離范圍。
    
     掃描電子顯微鏡的景深比透射電子顯微鏡的景深大10倍，比光學顯微鏡的景深高數百倍，由于景深大，掃描電子圖像是三維的。取決于臨界分辨力d0和電子束入射半角αC。臨界分辨力與放大倍數有關。由于人眼的分辨力約為0.2mm，所以電子束的分辨率必須高于臨界分辨力d0。通過改變光闌的尺寸和工作距離，可以調整電子束的入射角，利用小光闌和大工作距離使圖像清晰，從該距離可以得到小的入射電子角。
    
     原子序數對比掃描電子束產生的背散射電子、吸收電子和X射線對微區原子數的差異敏感，原子數越大，圖像越亮，兩原子的原子數越少。聚合物中各組分的年齡原子數差別不大，因此只有一些特殊的聚合物多相體系才能使用這種對比度成像。
    
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