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了解入射光的角度散射特征-精密光學(xué)儀器
利用一陣列式檢光感測器對于表面光散射做紀錄分析。散射光能量及角度涵蓋量
會隨著表面粗糙度的變化而改變，表面粗糙度越大，散射光的能量也越大，
涵蓋角度也會變大。實驗的設(shè)置乃根據(jù)反射定律決定光源、受測物與感測器的相關(guān)
位置如圖2，入射角與反射角相等；因所針對的試片為金屬，屬于不可穿透之元件。
將光陣列感測器(S5668)設(shè)置于反射端，以反射光束為中心校正感測器的相關(guān)位置，
取量測距離(反射光束至感測器距離)26mm，固定感測器與試片的角度，
得知入射光經(jīng)表面粗糙度所反應(yīng)出的光散射效
應(yīng)，并了解入射光的角度會對散射特征產(chǎn)生改變之情形為何。感測器夾持工具為
三軸且可旋轉(zhuǎn)之平臺，精度達0.01mm、1°；而工件夾持為一旋轉(zhuǎn)平臺，
可以隨機且精準的校正彼此的相關(guān)位置。實驗系統(tǒng)架設(shè)于精密光學(xué)桌上，
并以遮光布簾遮蓋，以避免外界低頻振動、光害等影響。將感測器上獲得的光反射
與散射能量透過類比轉(zhuǎn)數(shù)位轉(zhuǎn)換送交擷取卡，再由電腦讀取。以LabView軟體設(shè)計擷
取、儲存操作介面。再將儲存的檔案以數(shù)值分析軟體開啟，建立起圖形分析。
系統(tǒng)元件取得容易，且實驗架構(gòu)具有可調(diào)性、可靠性、精密度與便利性，
針對平面元件的量測，皆可有效的利用
客服1