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半圓形的光罩可加工出截面為半圓形的溝槽
微光學元件之制作
我們所使用準分子激光的加工方式為光罩投影（Projection）
的方式，
采用工件材質為PC聚碳酸酯（Polycarbonate），其折射率為1.586。
并以工件相對于激光光束運動進行加工，
因為加工形狀與加工深度是由單位區域受到激光光照射能量與照射次數所決
定。因此激光光束照射能量的大小與工件相對于激光光束運動快慢
可控制加工深度，當工件相對于激光光束運動較快時，
其加工深度就比較淺。所以將改變光罩圖形，激光光束照射能量的大小（可由
激光光能量與衰減器角度控制），激光光束脈衝頻率（Hz），
與工件移動速度等參數以穫得各種微光學元件。此外利用光罩圖樣的設計，
配合工件與光罩平臺的相對運動，也可以獲得特殊的微結構。而產
生此種結果的原因為層狀加工（layer machining）的特點，
加工深度會在原工件的形狀下產生相對的加工深度。所以加工深度和光罩
透光部份區域呈正比，并且加工截面形狀是光罩透光部份區域形狀
比例變形，如三角形的光罩可以加工出截面為三角形的溝槽，
而半圓形的光罩可以加工出截面為半圓形的溝槽，各種形狀的光罩可以
加工出截面為其形狀的溝槽。其加工過程是激光光透過光罩在移動
的工件進行拖拉式加工，最后得到直線長條形的各種形狀的溝槽，
如此既可得到我們要的光柵繞射元件或是柱狀鏡。如果再將工件旋
轉90度，再進行一次拖拉式加工，就可獲得微角錐狀陣列、微透鏡
陣列以及各種非球面透鏡陣列
客服1