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微光學元件之量測-電腦模擬微透鏡
電腦模擬微透鏡陣列圖
由模擬結果得知，以激光光透過圓弧形光罩之加工后微透鏡確
實比激光光透過半圓形光罩之加工后微透鏡較為接近球面，也比較
接近圓對稱，左圖為半圓形光罩加工之微透鏡
等高線圖，右圖為圓弧形光罩加工之微透鏡等高線圖，故圓弧形光
罩加工之微透鏡有比要好的鏡面結構，在光點聚焦上也比較容易聚
成點，也比較不會有光的散射。
微光學元件之量測
微光學元件的量測分為表面輪廓量測與光學特性量測兩部分來
微光學元件表面輪廓量測
元件表面的粗糙度會直接影響微光學元件之特性，如果表面粗
糙太過嚴重會使其光學效率大大的降低，因此經由準分子激光拖拉
式加工之后的工件，我們都必須進行表面輪廓的量測。而我們是采
用光學顯微鏡、干涉儀（Zygo）、薄膜測厚儀（α-stepper）及掃描
式電子顯微鏡（SEM）分別對元件表面進行表面外觀形狀、蝕刻深度
等的量測，并且利用電腦計算出加工后工件之粗糙度，目的在于對
元件作初步的檢驗與評價制程的品質。
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