在線留言
網(wǎng)站地圖 
RSS
您好，歡迎訪問(wèn)老上光儀器總廠網(wǎng)站！
聯(lián)系地址：北京市海淀區(qū)上地信息路信息產(chǎn)業(yè)三街
聯(lián)系電話(huà) 
152 0116 0776 / 400-811-7895
可透過(guò)非接觸式量測(cè)出階梯高度(Step Height)之影像
白光干涉儀已經(jīng)被使用許多年，且可透過(guò)非接觸式量測(cè)出階梯高度(Step Height)之影像，并于10秒就可成像出蝕刻10 nm深的半導(dǎo)體樣品之蝕刻凹痕。(a)為利用白光干涉儀成像出量測(cè)樣品表面之分色(false-color)平面影像，這個(gè)影像可以完整的表示所有垂直及側(cè)向的資料，
所以圖(a)也可以再表示成如圖(b)的樣品表面之彷造縮影照片(microphotograph)。再經(jīng)軟體建構(gòu)出3維影像(c)。圖(d)為拉剖面線通過(guò)影像水平中心繪出之剖面圖。
量測(cè)樣品是利用切割制程從梨晶(boule)上切割成量測(cè)用之獨(dú)特基板，并利用白光干涉儀揭露經(jīng)部分拋光所殘留的刮痕(a)。這些缺陷可以利用化學(xué)機(jī)械制程(chemicalechanical process)移除，并得到原子級(jí)平坦表面(b)。
網(wǎng)站網(wǎng)友點(diǎn)擊量更高的文獻(xiàn)目錄排行榜：
點(diǎn)此鏈接
關(guān)注頁(yè)面底部公眾號(hào)，開(kāi)通以下權(quán)限：
一、獲得問(wèn)題咨詢(xún)權(quán)限。
二、獲得工程師維修技術(shù)指導(dǎo)。
三、獲得軟件工程師在線指導(dǎo)
toupview,imageview,OLD-SG等軟件技術(shù)支持。
四、請(qǐng)使用微信掃描首頁(yè)底部官主賬號(hào)！ 
客服1