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顯微鏡量測(cè)技術(shù)
量測(cè)技術(shù)
能達(dá)到原子級(jí)解析度的儀器：
穿透式電子顯微鏡(Transmission ElectronMicroscope ： TEM) 與掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope：SPM)。
而場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡(Field Emission GunScanning Electron Microscope：FEG SEM)發(fā)展快速。
目前解析度已可達(dá)到0.6nm
利用X光繞射分析計(jì)算顆粒大小，因具快速性與方便性
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