石景山顯微鏡圖能量色散譜儀(EDS)材料分析中的兩個(gè)
作者: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-02 17:32:13點(diǎn)擊:1646
信息摘要:
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分析材料中微量元素的種類和含量有很多方法。然而,能量譜分析具有操作簡(jiǎn)單、分析速度快、結(jié)果直觀的特點(diǎn)。SKYLABS中最常用的方法是通過EDS對(duì)材料進(jìn)行能譜分析,快速測(cè)定材料、材料組成及相應(yīng)含量。
利用EDS-EDS-EDS-EDS能譜儀,結(jié)合掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM),對(duì)材料微區(qū)元素種類和含量進(jìn)行了分析。
但在成分分析的實(shí)踐中,田龍俊也發(fā)現(xiàn)了能譜(EDS)的兩類問題。因此,我們查閱了相關(guān)數(shù)據(jù),回答了能量譜分析結(jié)果的兩類常見問題。
以上是天朗評(píng)估的實(shí)際能量譜情況的結(jié)果。從上述圖中很容易看出,在EDS譜中有許多對(duì)應(yīng)于元素的峰。例如,Ti、Cl、Si等元素均含有多個(gè)峰。出什么事了這是否意味著這個(gè)元素非常高
事實(shí)上,我們已經(jīng)了解了EDS的工作原理,這個(gè)問題很容易理解。EDS是由外來粒子或能量激發(fā)的電子殼,留下一個(gè)空位,然后外部電子跳躍到這個(gè)空位,同時(shí)發(fā)射出特征X射線,從而造成能量差異。通過電子在不同殼層之間的轉(zhuǎn)移將產(chǎn)生不同的譜線,EDS譜線是這些特征X射線脈沖的積累,得到積分。
這樣,線條越多,外層電子占據(jù)越多,定量分析就是根據(jù)不同的元素選擇不同的線系峰值強(qiáng)度和這個(gè)元素的響應(yīng)值來計(jì)算,所以峰數(shù)和元素含量不太直接相關(guān)。
此外,在樣本中總是存在一些不可能的元素。出什么事了例如,上述樣品中的Al。
1)在TEM和SEM中都可能觀察到C和O,它們由于空氣中的脂質(zhì)和其他有機(jī)物而容易吸附在樣品表面,特別是在TEM中,通常使用C膜載體,C是正常的。
2)鋁或硅:SEM,由于采用鋁樣品臺(tái)或玻璃基板,所以在樣品掃描光譜的較薄區(qū)域,會(huì)出現(xiàn)基板的信號(hào)。
3)Cu和Cr:這是TEM所特有的。Cu是由使用Web材料Cu引起的,而Cr通常被認(rèn)為是由樣品棒或腔室材料中的微量元素引起的。
4)B:有時(shí)分辨率突然很高,看到一個(gè)清晰的B峰,這應(yīng)當(dāng)注意,因?yàn)闃悠吩趻哌^大范圍的運(yùn)動(dòng)過程中很容易出現(xiàn)這個(gè)峰,并且如果樣品被加熱,就會(huì)出現(xiàn)一個(gè)B峰。
5)一些稀土元素或鑭系元素是非常罕見的。這可能是由于強(qiáng)噪聲峰。儀器分析表明,在相應(yīng)的能區(qū)存在微量元素,可以通過軟件進(jìn)行去除。
相比之下,EDS更適合于無機(jī)或有機(jī)固體材料、金屬材料的物相分析、成分分析和夾雜物鑒定,EDS可以方便地用于材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析。用于材料表面元素的表面、線和點(diǎn)分布分析。但是經(jīng)常沒有檢測(cè)到輕元素(如周期表1-4)。
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