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平板玻璃表面光潔度測(cè)量顯微鏡
我們掃描平板玻璃20mm、40mm 兩種行程，并以玻璃內(nèi)部α角變化圖和表面形貌圖來(lái)呈現(xiàn)一維的量測(cè)范圍。
為掃描行程20mm 的玻璃內(nèi)部角度α變化，其中縱軸α為玻璃內(nèi)
部的角度，其單位為degree，而橫軸x 為待測(cè)物掃描移動(dòng)的距
離，其單位為 mm。而圖五、六是掃描行程為20mm 的表面形
貌圖，其中縱軸為Δh 為高度差，其單位為m，橫軸為橫軸x 為
待測(cè)物掃描移動(dòng)的距離，其單位為mm。
其中更大高度差6.5639256×10-5m、平均高度為9.0056×10-5m
更大高度差7.0398869×10-5m 、平均高度1.2807×10-4m。圖五、六中，更大高度差的差值為
4.759613×10-6m，平均高度差值為3.8014×10-5m。對(duì)同一物
件我們?cè)黾悠揭频男谐讨?0mm 時(shí)，其玻璃內(nèi)部α角變化如圖
七、八所示。圖九、十為掃描行程40mm 的表面形貌圖。圖九
更大高度差8.9264543×10-6m、平均高度2.0108×10-5m，圖
十看出更大高度差8.5235211×10-6m 、平均高度1.9213×10-
5m，更大高度差的差值為4.029332×10-7m，平均高度差值為
8.95×10-7m。以不同掃描行程來(lái)看差值，發(fā)現(xiàn)掃描行程40mm
的更大高度差與20mm 相差有11 倍之多，
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