通州微電子元件的應用-微機電(MEMS)之體型微加工技術
作者: 發布時間:2022-07-02 20:52:10點擊:1689
信息摘要:
大家好,這里是老上光顯微鏡知識課堂,在這里你可以學到所有關于顯微鏡知識,好的,請看下面文章:微懸臂樑感測是目前生化、生醫
大家好,這里是老上光顯微鏡知識課堂,在這里你可以學到所有關于顯微鏡知識,好的,請看下面文章:
微懸臂樑感測是目前生化、生醫之熱門微量偵測技術之一。
利用矽在DRIE的等向性蝕刻的特性,以微機電(MEMS)之體型微加工技術在n-type的SOI晶圓制作出懸臂式的結構,
再以離子植入將硼doping在結構上。將壓阻佈局成惠司通電橋平衡的方式,再
加入雜訊、自我溫度補償和自我校正功能,就可完成一個微流量感測器(Sensor)以進行測試。
網站網友點擊量更高的文獻目錄排行榜:
點此鏈接
關注頁面底部公眾號,開通以下權限:
一、獲得問題咨詢權限。
二、獲得工程師維修技術指導。
三、獲得軟件工程師在線指導
toupview,imageview,OLD-SG等軟件技術支持。
四、請使用微信掃描首頁底部官主賬號!