西城微光學元件:角錐狀反射鏡、柱狀鏡、微透鏡

作者：發布時間：2022-07-02 20:57:10點擊：2062

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微光學元件:角錐狀反射鏡、柱狀鏡、微透鏡

各種微光學元件，包括角錐狀反射鏡、柱狀鏡、

微透鏡、以及各種非球面透鏡，都將采用移動工件平臺的拖拉式加

工方法。因此我們試著固定激光劑量與激光重複率，以改變拖拉的

速度（dragging velocity）控制各種元件，如直角錐陣列的深寬比、

圓柱狀鏡以及微透鏡或是各種非球面鏡的曲率，試圖找出制程參數

與曲率或是深寬比的相關函數變化。

電腦設計加工光罩形狀

以電腦程式（Matlab）模擬激光加工后的加工結果，可以得知

預估模擬加工后的加工形狀。

微直角錐陣列

加工過程是激光光透過三角形光罩在移動的工件進行拖拉式加

工，最后得到直線長條形的截面為三角形的直線長條形溝槽。然后

將工件旋轉 90 度，再進行一次拖拉式加工，就可獲得以直角座標格

子點座標排列的微角錐陣列。所以我們就利用電腦設計如同實際加

工的過程，加以模擬設計，首先我們先繪出一直角三角形之溝槽陣

列，再繪出一道與其垂直之直角三角形之溝槽陣列，再將繪一平面，

如此將此平面減上兩道直角三角形之溝槽，就可模擬設計出我們需

要之微直角錐陣列，所示為電腦模擬微直角錐陣列圖，

所示為電腦模擬微角錐陣列的等高線圖。

由模擬設計結果得知，以微直角錐陣列為例，在三角形光罩的頂點位置，也就是

三角形溝槽的凹點處，若是位于兩個相互垂直的三角形溝槽凹點處，

則會形成直角錐狀的更低點。反之，若在位于兩個相互垂直的三角

形溝槽兩側頂點處，則會形成直角錐狀的更高點，故我們由模擬設

計之微直角錐真列可知，我們所需要之立體直角錐，即為我們加工

直角三角形溝槽所交叉拖拉工件的地方，并需旋轉 45 度的角度，

此即為我們的微直角錐陣列。

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