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溶凝膠制備氧化鋅透明導(dǎo)電膜-光學(xué)特征
以溶凝膠(sol-gel)法，藉由改變銦摻雜比例，合成穩(wěn)定之膠態(tài)鍍膜液。經(jīng)
涂佈沉積(spin-on-deposition)于玻璃基板上，適當(dāng)之熱處理后，形成結(jié)晶性的摻
銦氧化鋅薄膜(ZnO:In)，當(dāng)鋅與檸檬酸3:1、當(dāng)銦摻雜量為3at%時所合成之IZO薄膜，
在可見光區(qū)(400~800nm)之透光率可達(dá)70％。
此溶膠凝膠鍍膜液可于常溫下進(jìn)行操作，相較于傳統(tǒng)的真空成膜系統(tǒng)，
更加節(jié)省制程的成本而減少特殊溶劑的使用量。
探討制程參數(shù)，包括熱處理溫度與合成系統(tǒng)之不同摻雜量、
對IZO薄膜電性及光學(xué)性質(zhì)之影響。
以溶凝膠法制備氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜摻雜銦(IZO)鍍膜液，經(jīng)過二次退
火熱處理，確實(shí)可制成具有透光和導(dǎo)電的透明導(dǎo)電薄膜，經(jīng)此研究證
實(shí)650℃真空燒結(jié)一小時、再通入氬氣加氫氣燒結(jié)一小時，IZO薄膜以
摻雜量為原子比3at%具有更低片電阻，而且透光度可達(dá)70%。
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