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微懸臂樑感測(cè)是目前生化、生醫(yī)之熱門微量偵測(cè)技術(shù)之一。
利用矽在DRIE的等向性蝕刻的特性，以微機(jī)電(MEMS)之體型微加工技術(shù)在n-type的SOI晶圓制作出懸臂式的結(jié)構(gòu)，
再以離子植入將硼doping在結(jié)構(gòu)上。將壓阻佈局成惠司通電橋平衡的方式，再
加入雜訊、自我溫度補(bǔ)償和自我校正功能，就可完成一個(gè)微流量感測(cè)器(Sensor)以進(jìn)行測(cè)試。
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