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機(jī)械式探針和光探針最主要的區(qū)別是什么？光學(xué)顯微鏡百科
探針式激光干涉感測法：
此種表面粗糙度量測儀為結(jié)合探針式表面粗糙度量測儀、激光干涉儀和精密移動平臺設(shè)計、制作等優(yōu)點(diǎn)
? 光探針式自動對焦伺服探頭感測法：
以激光式收錄器替代探針式收錄器和有一雙軸移動的精密臺所組成。
＊ 機(jī)械式探針和光探針最顯著的差別在于微小激光光可達(dá)波谷，機(jī)械式探針受到針尖半徑的限制可能無法到達(dá)，
同時激光光投射點(diǎn)直徑僅約在0.8μm 而已
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