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元件的尺度的精密度大約在 1μm 左右測(cè)量工具顯微鏡
繞射式光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements，簡(jiǎn)稱(chēng) DOEs)是近
年來(lái)急速發(fā)展的領(lǐng)域。繞射式光學(xué)元件是利用繞射原理來(lái)進(jìn)行功能
的重建，其元件的尺度的精密度大約在 1μm 左右。繞射式光學(xué)元件
能夠?qū)崿F(xiàn)多功能光學(xué)特性，其具有許多的特點(diǎn)：包括高繞射效率、
設(shè)計(jì)的自由度高、材料的選擇性大、特殊的光學(xué)特性、配合塑膠射
出技術(shù)等等。
設(shè)計(jì)繞射式光學(xué)元件通常為單一或是雙片式透鏡，在今日超大型積體電路的制程技術(shù)已發(fā)展成熟的情況之下，
使元件能夠微小化、精密化，并可量產(chǎn)以降低制作成本。在其他光電系統(tǒng)中之成像元件，
我們也盡力要求焦距短、數(shù)值孔徑(Numerical Aperture，簡(jiǎn)稱(chēng) NA)高的光學(xué)元件，
使其能運(yùn)用在光學(xué)讀寫(xiě)頭、條碼閱讀機(jī)、雷射印表機(jī)、
雷射準(zhǔn)直透鏡及微小透鏡陣列等之聚光、成像、掃描裝置，甚至運(yùn)
用到 DVD 讀寫(xiě)頭、密度多功分波器以及下一代高速平行計(jì)算系統(tǒng)中
的光學(xué)連結(jié)元件，而在未來(lái)的 CD-ROM 或是 DVD-ROM 的讀寫(xiě)頭
所用的聚焦透鏡之?dāng)?shù)值孔徑將要達(dá)到 0.6~0.8。
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