石景山金相顯微鏡觀察銅研磨后光切面微觀金相結(jié)構(gòu)
作者: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-02 20:52:56點(diǎn)擊:1673
信息摘要:
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通過金相顯微鏡觀察銅研磨后光切面微觀金相結(jié)構(gòu)
當(dāng)銅的測(cè)試狀態(tài)為研磨,于含9 vol% H2O2 + 1 wt% Al2O3的研磨液中,銅的研磨速率約為51 nm/min,
且研磨后的表面粗糙度由經(jīng)800號(hào)砂紙研磨后的104 nm降至3 nm;添加0.0078 M的檸檬酸于上述研磨液中,
銅的研磨速率提高至約為1045 nm/min,而且研磨后的粗糙度也維持在2 nm。
研磨速率增加是因?yàn)闄幟仕徨e(cuò)合銅離子所造成;表面粗糙度降低的原因則是Al2O3粒子能加速表面凸起處的移除,
以及H2O2能使銅的氧化膜于表面凹陷處生成,并且保護(hù)基材,減少化學(xué)侵蝕或是機(jī)械作用對(duì)它的損害所致。
另外,提高檸檬酸濃度至0.5 M,研磨速率會(huì)提升至約5522 nm/min,研磨后的粗糙度也增加至約352 nm。
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