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由鉭的研磨速率量測結(jié)果得知，添加Al2O3粒子于去離子水中，研磨速率隨粒子濃度的增加(1 ~ 15 wt%)而
提高(2.6 ~ 118 nm/min)；但再添加H2O2或檸檬酸于1 wt% Al2O3研磨液中，卻無法量得研磨速率。
根據(jù)XPS和電化學(xué)性質(zhì)的分析結(jié)果，這是由于H2O2或檸檬酸易使鉭的表面生成Ta2O5，而且欲移除Ta2O5相較于
金屬鉭更加不易所致。此外，由AFM的量測結(jié)果可知
添加不同濃度的Al2O3粒子于去離子水或是9 vol% H2O2 + 0.01 M檸檬酸的研磨液中，當(dāng)Al2O3粒子濃度超過
10 wt% 后，研磨后表面粗糙度的平均值均非常接近Al2O3粒子的粒徑，約50 nm。
另外，銅/鉭可能因?yàn)橥瑫r(shí)曝露在研磨液中而發(fā)生金屬間的伽凡尼腐蝕，所以本研究亦探討氧化劑(H2O2、Fe(NO3)3
和KIO3)和面積比例對銅/鉭伽凡尼行為的影響。添加不同的氧化劑于0.01 M Na2SO4 + 1 wt% Al2O3的研磨液中，
由開路電位及伽凡尼電流的量測結(jié)果得知，不論于研磨或是靜置，在含H2O2或是KIO3的研磨液中，
鉭均為銅/鉭電偶中的陽極；但是，在含KIO3的研磨液中所量得的鉭陽極電流密度值小于在含H2O2的研磨液中所量得的
結(jié)果。當(dāng)添加的氧化劑為Fe(NO3)3，銅/鉭電偶中的陽極則變?yōu)殂~；
而且在靜置下所量得的銅陽極電流密度值大于在研磨中所量得的結(jié)果。至于銅/鉭不同面積比例的影響，
根據(jù)開路電位及伽凡尼電流的量測，當(dāng)銅/鉭電偶中的鉭電極面積減少至原來面積的1/5倍，在含F(xiàn)e(NO3)3的研磨液中
因?yàn)檠心ブ?，鉭會(huì)與銅發(fā)生極性轉(zhuǎn)換的現(xiàn)象
但是，在含H2O2或是KIO3的研磨液中，研磨并不會(huì)導(dǎo)致極性轉(zhuǎn)換現(xiàn)象的發(fā)生。
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