通州利用顯微鏡觀察矽晶片表面的金屬網結構-顯微蝕刻技術
作者: 發布時間:2022-07-02 20:45:19點擊:1505
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利用顯微鏡觀察矽晶片表面的金屬網結構
逐步改變蝕刻濃度條件,并利用顯微鏡觀察其結果
單晶矽制作金字塔結構,在傳統上利用氫氧化鉀于矽晶片上產生非等向性蝕刻,
以制作金字塔反射結構。由于,反應進行時會于矽晶片表面釋放出氫氣,
所以通常會于溶液中加入異丙醇來降低氣泡所帶來的影響。在本研究中,
利用適當開口尺寸的金屬網目,放于矽晶片表面,
如同遮蔽物般將離開矽晶片表面的氣泡捕捉于網目之間,
這使得非等向性蝕刻反應進行時所產生的氣泡轉為氣態遮罩。
利用這個方法,成功的制作出3μm ~ 8μm的金字塔結構,
而400nm ~ 1000nm不同波長的反射率量測平均值小于18%。
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