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什么是芯片電極涂布實驗-專業量測用顯微鏡
芯片電極涂布實驗，其實驗項目與目標說明如下：
(1) 軟件運算精度分析：此一實驗的目的在驗證芯片座標系設定的重
現性(Repeatability)，若通過此一驗證，才能確定軟件座標系設定
的正確性，后續得以進一步分析電極涂布之精度。
(2) 電極涂布機臺涂布重現性分析：此一實驗目的在了解電極涂布過
程的重現性，涂布過程其實包含多項誤差之組合，然而由于無法分
析涂布機臺各項作業，因此僅能測試涂布機臺整體流程之重現性。
(3) 軟件座標與涂布機臺座標轉換誤差分析：涂布機臺補償值輸入參
數為 X、Y1、Y2，本研究電極座標系與芯片座標系之誤差則為 x、y、
θ，需將 x、y、θ 轉換為 X、Y1、Y2，以便輸入機臺進行補正。此一
實驗目的為驗證 x、y、θ 轉換為 X、Y1、Y2 之正確性
(4) 單次電極涂布補正分析：本實驗測試單次涂布座標補正之正確
性，若補正方式正確，則以數片芯片測試，并以前一芯片之誤差為
修正下一芯片之涂布，否則，將分析誤差成因，并尋求改善方法。
(5) 兩次電極涂布補正分析：本實驗測試兩次涂布座標補正之正確
性，藉由兩次涂布之電極對位的正確性，驗證誤差補正方法的成效
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