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專業圖像量測顯微鏡觀察微小的芯片影像結構
探討單次涂布與兩次涂布中各種精度問題，針對造成誤差的原因進行分析與檢討，
并驗證兩次涂布中軟件補正的成效。
實驗中單次涂布與兩次涂布均規劃執行，由單次涂布之實驗了解涂
布機臺之誤差與軟件座標補正之功效，再由兩次涂布的實驗驗證軟件補正
方法的正確性。此外，機臺補正輸入參數與軟件座標系統不同，其轉換方
法的正確性也藉由實驗進行測試。
芯片影像采集后，需經由軟件運算補償數據，并轉換成適當座標系后
輸入機臺進行補償，這些步驟基本上是環環相扣的，為擬清各階段誤差的
情況，在實驗規劃上需特別小心，以免因多項誤差同時發生導致無法研判
誤差成因。此外，同一實驗均重覆執行多次，有時是使用相同芯片重覆實
驗，有時則是使用不同芯片執行相同步驟，希望藉由統計分析的資料，降
低個別實驗偏差的影響軟件
軟件與補償機臺座標值轉換
由于本研究軟件計算芯片誤差補償值與補償機臺實際進行補償所需要
輸入的座標值型式不相同，所以無法直接使用，軟件本身計算的座標為 x、
y、θ 型式，而機臺補償值輸入則為 X、Y1、Y2 型式，兩者之間必須找出一
個關系式進行轉換，轉換流程圖，但因為無法對補償機臺本
身機構運作情形進行了解，因而必須透過 CCD 影像設備于機臺上位置尺
寸之配置圖推算一套轉換公式，此轉換公式必須經過驗證后確定
其誤差于合理范圍內，其驗證方法于第四章將詳細說明，以下則針對轉換
方式詳細說明
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