西城光學(xué)儀器定制-3D光學(xué)式非接觸的影像量測儀

作者：發(fā)布時間：2022-07-02 20:58:05點(diǎn)擊：1978

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光學(xué)儀器定制-3D光學(xué)式非接觸的影像量測儀

3D光學(xué)量測是近代量測模式的重要發(fā)展，在過去量測物體表面形貌，一般都是利用接觸式的探針量測儀，利用針頭直徑約為5mm的探針，

輕輕的刮過物體表面，藉由探針的起伏反應(yīng)得知刮過部分的表面形貌，但這僅僅得知的是單一條線的2D曲線。

但在近年來各種高科技產(chǎn)業(yè)的元件不斷的追求輕薄短小的情況下，制程技術(shù)不斷的進(jìn)步，各種光電元件的間隙幾乎都小于5mm，

原先的探針頭無法深入物件底部進(jìn)行量測，

所以接觸式表面分析不論是在產(chǎn)線監(jiān)控亦或制程研發(fā)皆無法符合大部分制造商的需要，因此光學(xué)式非接觸的量測儀器逐漸被市場所采用。

在光學(xué)式的量測儀器當(dāng)中，共軛焦以及干涉式的量測儀器一直都各有擅場，共軛焦擁有比較好的XY方向的解析度以及能量測較大的斜率，

并且在量測較大的Z方向范圍有操作較為便利，但干涉儀在量測Z軸尺度<0.2mm的擁有比較好精度，并且不會因?yàn)橥粯颖颈砻嬗胁煌姆瓷渎识绊懡Y(jié)果的準(zhǔn)確性。

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